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抽气速率 真空泵出口为标准大气压状态(760mm汞柱)时，单位时间内通过真空泵进口的吸入状态下的气体容积，单位为m3/min或m3/h。 极限真空 真空泵气量为零时的真空度。极限真空用绝对压力表示，单位为mm汞柱(mmHg)，也可用相对于标准大气压力760mm汞柱的负差值表示(-mmHg)。二者换算关系为:绝对压力(mmHg)=(-mmHg)+(760mmHg)=1mmHg=133.322Pa。 |
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